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高纯气体是指特定元素含量极高的纯净气体的总称，广泛应用于工业、和生物领域。
在化工行业方面, 高纯二氧化碳常被用作干冰或制冷剂以进行冷却和解冻；此外还广泛用于电子元器件的生产中作为蚀刻清洗的气体以及化学镀层等应用上; 在食品行业中是常用的保鲜冷冻介质及饮料的原料之一. 而在半导体设备和制造业中则是不可或缺的重要材料 。同时随着超大规模集成电路的不断涌现 ，对多组分和高浓度的特殊特种气体需求量不断增长 ,这些产品主要应用于技术 、产业等领域
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