高纯气体的泄漏检测通常采用以下几种方法：
1. 气体检测仪：使用气体检测仪可以检测到气体泄漏的浓度，从而确定泄漏的位置和程度。气体检测仪通常采用红外线、催化燃烧、电化学等原理进行检测。
2. 气体色谱法：气体色谱法是一种常用的高纯气体泄漏检测方法，它通过将气体样品注入色谱柱，然后通过检测器检测出气体的浓度和成分，从而确定泄漏的位置和程度。
3. 气体泄漏探测器：气体泄漏探测器是一种专门用于检测气体泄漏的设备，它通常采用红外线、超声波、微波等原理进行检测。气体泄漏探测器可以实时监测气体泄漏的情况，并通过报警器发出警报。
4. 气体检测毯：气体检测毯是一种便携式的气体泄漏检测设备，它通常采用化学反应原理进行检测。气体检测毯可以快速检测出气体泄漏的位置和程度，并通过颜色变化来显示检测结果。
5. 气体泄漏检测仪：气体泄漏检测仪是一种高精度的气体泄漏检测设备，它通常采用激光干涉、超声波、红外线等原理进行检测。气体泄漏检测仪可以实时监测气体泄漏的情况，并通过数据记录和分析来确定泄漏的位置和程度。
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