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高纯气体在使用过程中，要确保其可持续性和环保性，可以从以下几个方面入手：首先，要确保气体的来源可靠，选择有资质的供应商，避免使用来源不明或质量不达标的气体。其次，要合理使用气体，避免浪费，减少气体的排放。再次，要定期检查气体的纯度和质量，确保其符合使用要求。，要妥善处理废弃的气体，避免对环境造成污染。通过以上措施，可以有效地保证高纯气体的可持续性和环保性。
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