在半导体工业中，高纯氦气用作生长锗和硅晶体的保护气。某些混合气的底气、清洗、屏蔽和加压系统的惰性气体；气相色谱载气；在生产象钛和锫那样的活性金属时用作保护气；电弧焊接的保护气；在原子能反应堆中作为气体的冷却介质；在航天技术上，液氦加注系统的真空管路、贮槽、槽车以及火箭贮箱中的空气必须首先用高纯氮气置换，合格后用高纯氦气置换，分析合格后用高纯氦密封；还可用作火箭的挤压气源及姿态控制发动机用气源。
气使用注意事项，1、气应储存在通风、干燥、阴凉的库房里，远离热源和火种，避免阳光直晒，而且气瓶要有防倒措施。2、气瓶装气体为高压充装气体，使用时应经过减压后方可使用。3、气有使用年限，要在使用年限内使用，快到期的气必须送到相关部门进行安全检验，合格后才能继续使用。4、气使用到尾气时，应保持瓶内余压0.5MPa，余压不能低于0.25MPa，而且应关闭瓶阀，保证气体质量和使用安全。5、气在储存、运输、使用时应该分类摆放，不能把可燃气体与助燃气体放置在一起，而且还应配备泄露应急处理设备。
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