高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。色谱分析检测过程中，气相色谱仪对所用的气体纯度有较高的要求，为既达到工作要求，又能延长仪器寿命，标准气体，所用气体的纯度要达到或略高于仪器自身对气体纯度的要求;否则，工业气体，若使用不符合要求的低纯度气体，混合气体，会造成一系列不良影响。
高纯气体如何安全供气？易燃易爆气体此类气体只要形成了可燃气体混合气和达到着火温度，便会发生燃烧事故，因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能聚集可燃气体的场均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：①可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。②可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的低处。③可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。
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